2019年3月,芯聯成順利完成對原有晶片工藝分析實驗室的改造擴建,全面提升晶片工藝分析能力。
對於晶片工藝分析工程而言,打造一個封閉的超淨空間,並將空氣中的塵粒最大允許數嚴格控制在一定範圍內,能夠有效控制晶片所接觸空氣的潔淨度和溫濕度,減少對晶片拍照造成的不必要污染。同時有助於消除靜電和電磁干擾,提升設備的刻蝕效果。
目前芯聯成有足夠的技術實力和設備能量,承接10nm以上各種類型晶片的工藝分析與電路競爭力分析。在超淨間無塵實驗室內,業已投入SEM/OM、ICP、RIE、IBE、RIBE、CMP等多台高階設備,洞悉前沿技術,能為客戶提供高品質的技術服務。
10nm M1
隨著晶片工藝節點的不斷縮小,晶片工藝分析也面臨更多技術實現難點,芯聯成不斷升級實驗裝備,為迎接未來更小工藝制程工藝分析做好充份的準備。